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   電感耦合等離子體光譜儀（ICP-AES）是以電感耦合等離子炬為激發光源的一類光譜分析方法，它是一種由原子發射光譜法衍生出來的新型分析技術。它能夠方便、快速、準確地測定水樣中的多種金屬元素和準金屬元素，且沒有顯著的基體效應。 

   早在1884年Hittorf就注意到，當高頻電流通過感應線圈時，裝在該線圈所環繞的真空管中的殘留氣體會發生輝光，這是高頻感應放電的最初觀察。 

   1942年Babat采用大功率電子振蕩器實現了石英管中在不同壓強和非流動氣流下的高頻感應放電，為這種放電的實用化奠定了基礎。

   1961年Reed設計了一種從石英管的切向通入冷卻氣的較為合理的高頻放電裝置，它采用Ar或含Ar的混合氣體為冷卻氣，并用碳棒或鎢棒來引燃。Reed把這種在大氣壓下所得到的外觀類似火焰的穩定的高頻無極放電稱為電感耦合等離子炬（ICP）。 

   Reed的工作引起了Greenfield、Wenat和Fassel的極大興趣，他們首先把Reed的ICP裝置用于AES，并分別于1964年和1965年發表了他們的研究成果，開創了ICP在原子光譜分析上的應用歷史。

   20世紀70年代，ICP-AES進入實質應用階段。1975年美國的ARL公司生產出了第一臺商品ICP-AES多色儀，此后各種類型的商品儀器相繼出現。 

   今天電感耦合等離子體光譜儀分析技術已成為現代檢測技術的一個重要組成部分。